现在的平面研磨机都是采用游离磨料,合适的研磨加工机器和研磨工艺的平面研磨,作为一种设备相对简单,又仍然可以得到很高的形体精度和表面质量的方法,依旧是超精密加工最有效的手段之一了。那么超精密的平面研磨加工技术是研磨技术中的一种,可以获得极高的零件表面质量,主要是可以获得极高的面部精度 (平面度 平行度等)和无加工变质层的表面。现代高科技产品的制造,如单晶硅片 硬磁盘基片 压电陶瓷换能器等均需要采用超精密平面研磨加工技术。超精密平面研磨可以分为四个基础组成成分----研磨盘研磨液磨粒和工件。研磨盘是精密研磨加工中的磨具,其面型精度对被加工件的面型精度影响非常···